川崎電機R2AA1020AFCPKG 50601-0156

 

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      川崎晶圓搬運機器人占據(jù)了全球晶圓搬運機械人51%以上的市場份額。

 

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川崎伺服電機R2AA1020AFCPKG 50601-0156參數(shù)：

功率：2.0KW

轉速：3000 min-1

 

      在晶圓切片，晶圓測試、固圓、導線架等工藝時使用二氧化碳雪清洗，可以去除各種污染物。半導體CO2清洗單元使用了川崎機器人與隆深機器人合資的隆崎機器人明星產(chǎn)品SCARA機器人KLS600，配合高精度、高品質核心零部件，保證了設備的穩(wěn)定運行?？蛇m用于3C、半導體行業(yè)，解決了半導體行業(yè)消耗品成本高，清洗效率低等問題。